尺寸：48×96mm。
本體：端子臺型，溫度輸入型。
種類：控制輸出1點型（電源AC100～240V用）。
外殼顏色：銀色。
控制輸出：繼電器輸出。
控制模式：標(biāo)準(zhǔn)或加熱冷卻E5EN-CY3BL-N使用手冊。
輔助輸出點數(shù)：3點。
加熱器用斷線、SSR故障、加熱器過電流檢測功能/ES1B用電源：單相加熱器用檢測功能。
事件輸入點數(shù)：2點E5EN-CY3BL-N
傳送輸出：--。
通信：--。
96mm、48×96mm見方的通用溫控器已升級＆功能/性能提升。
指示精度提升、增加了預(yù)防維護(hù)功能，性能進(jìn)一步提升E5EN-CY3BL-N使用手冊。
增加PV/SV狀態(tài)顯示功能，方便查看溫控器的狀態(tài)
（自動/手動、RUN/STOP、報警發(fā)生），可交互顯示PV/SV。
增加控制輸出ON/OFF次數(shù)計數(shù)功能，可預(yù)防維護(hù)溫控器內(nèi)部繼電器。
增加了3段顯示，可同時顯示易于理解的當(dāng)前值/目標(biāo)值/操作量。
增加了PF鍵，分配自動/手動、RUN/STOP等，可實現(xiàn)一鍵操作。本體：程序型。
尺寸：96×96mm。
類型：4輸入型。
控制模式：4通道標(biāo)準(zhǔn)控制/2通道加熱冷卻控制。
輸出（控制/傳送）點數(shù)：4點（電流4點）。
輸助輸出（SUB）點數(shù)：10點。
事件輸入點數(shù)：8點。
串行通信：RS-485。
全新推出高速、數(shù)字調(diào)節(jié)儀（程序mo在計算機(jī)上輕松設(shè)定E5EN-CY3BL-N使用手冊。本體：端子臺型，模擬輸入型。
種類：控制輸出1點型（電源AC100～240V用）。
外殼顏色：黑色。
控制輸出：繼電器輸出。
控制模式：標(biāo)準(zhǔn)或加熱冷卻。
輔助輸出點數(shù)：2點。
加熱器用斷線、SSR故障、加熱器過電流檢測功能/ES1B用電源：單相或三相加熱器用檢測功能。
事件輸入點數(shù)：--。
傳送輸出：--。
通信：RS-485。
48mm的通用溫控器已升級＆功能/性能提升。
指示精度提升、增加了預(yù)防維護(hù)功能，
性能進(jìn)一步提升。
E5CN-U（插入型）新增模擬輸入型和電流輸出型。
增加PV/SV狀態(tài)顯示功能，方便查看溫控器的狀態(tài)（自動/手動、RUN/STOP、報警發(fā)生），
可交互顯示PV/SV。
增加控制輸出出ON/OFF次數(shù)計數(shù)功能，可預(yù)防維護(hù)溫控器內(nèi)部繼電器E5EN-CY3BL-N指導(dǎo)手冊。晶圓片托架的的落座檢測E5EN-CY3BL-N指導(dǎo)手冊。
通過與導(dǎo)槽并用的方式設(shè)定落座位置。
與晶圓片托架的接觸面使用了耐化學(xué)藥品性強的氟素樹脂。
獨有的光學(xué)系統(tǒng)幾乎可穩(wěn)定檢測所有晶圓片托架。
采用抗干擾光的變調(diào)光方式。
使用環(huán)保導(dǎo)線（無滑石粉）。